Verfahren zur Herstellung eines Optischen Elements für eine Lithographievorrichtung
EP4310592
Art A1
24. Januar 2024
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss Jena GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4310592
- Aktenzeichen
- EP23186263
- Anmeldetag
- 19. Juli 2023
- Veröffentlichung
- 24. Januar 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00G02B1/02B24B13/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss Jena GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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🇩🇪
Carl Zeiss Jena
Carl Zeiss Jena GmbH ist eine Gesellschaft der Zeiss-Gruppe mit Sitz im thüringischen Jena, dem historischen Kernstandort des Optikkonzerns. Das Patentportfolio ist stark auf Optik und Fototechnik konzentriert, ergänzt um Mess- und Prüftechnik sowie Beleuchtungstechnik. Anmeldungen erfolgen kontinuierlich seit 2000.
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