Verfahren zur Herstellung eines Optischen Elements für eine Lithographievorrichtung

EP4310592 Art A1 24. Januar 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss Jena GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4310592
Aktenzeichen: EP23186263
Anmeldetag: 19. Juli 2023
Veröffentlichung: 24. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00G02B1/02B24B13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss Jena GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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