Elektronenoptisches Gerät und Verfahren zur Erlangung von Topographischen Informationen über eine Probenoberfläche

EP4310885 Art A1 24. Januar 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4310885
Aktenzeichen: EP22186294
Anmeldetag: 21. Juli 2022
Veröffentlichung: 24. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/317H01J37/28H01J37/26H01J37/21G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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