Reinigungsverfahren, Halbleiterbauelementherstellungsverfahren, Substratbehandlungsvorrichtung und Programm

EP4310890 Art A1 24. Januar 2024

Anmelder: Kokusai Electric Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4310890
Aktenzeichen: EP21931536
Anmeldetag: 17. März 2021
Veröffentlichung: 24. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/34C23C16/44C23C16/46H01L21/67H01L21/31H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kokusai Electric Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von