Verfahren zur Steuerung der Breite von Rippenförmigen Merkmalen im Nanomassstab auf einem Halbleitersubstrat

EP4310900 Art A1 24. Januar 2024

Anmelder: Imec VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4310900
Aktenzeichen: EP22186398
Anmeldetag: 22. Juli 2022
Veröffentlichung: 24. Januar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/8234H01L21/308

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Imec VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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