Optische Anordnung für den Fuv/vuv-Wellenlängenbereich

EP4314926 Art B1 18. Juni 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4314926
Aktenzeichen: EP22712381
Anmeldetag: 10. März 2022
Veröffentlichung: 18. Juni 2025
Erteilung: 18. Juni 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G02B13/14G02B5/08G03F7/20G03F7/00G02B27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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