Facettensystem und Lithografievorrichtung

EP4314948 Art A1 7. Februar 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4314948
Aktenzeichen: EP22716934
Anmeldetag: 21. März 2022
Veröffentlichung: 7. Februar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B7/182G02B26/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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