Verfahren und Anwendungen für Katalysatorbeeinflusstes Chemisches Ätzen

EP4315401 Art A1 7. Februar 2024

Anmelder: Board of Regents, The University of Texas System 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4315401
Aktenzeichen: EP22781960
Anmeldetag: 28. März 2022
Veröffentlichung: 7. Februar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67B01L3/00H01L21/306H01L21/3213H01L21/78H01L23/544H01L25/065H01L21/98

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Board of Regents, The University of Texas System
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Texas System

US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.

2.504 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von