Vorrichtung für ein Thermisches Verdampfungssystem und Verfahren zum Beschichten eines Beschichtungsbereichs auf einer Vorderseite eines Substrats

EP4320284 Art A1 14. Februar 2024

Anmelder: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4320284
Aktenzeichen
EP21759029
Anmeldetag
28. Juli 2021
Veröffentlichung
14. Februar 2024
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/00C23C14/28C23C16/448C23C16/455
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Max-Planck-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Die Max-Planck-Gesellschaft betreibt zahlreiche Institute für Grundlagenforschung in Natur-, Geistes- und Sozialwissenschaften.

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