Vorrichtung für ein Thermisches Verdampfungssystem und Verfahren zum Beschichten eines Beschichtungsbereichs auf einer Vorderseite eines Substrats
EP4320284
Art A1
14. Februar 2024
Anmelder: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4320284
- Aktenzeichen
- EP21759029
- Anmeldetag
- 28. Juli 2021
- Veröffentlichung
- 14. Februar 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/00C23C14/28C23C16/448C23C16/455
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Max-Planck-Gesellschaft
Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Die Max-Planck-Gesellschaft betreibt zahlreiche Institute für Grundlagenforschung in Natur-, Geistes- und Sozialwissenschaften.
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