Verfahren zur Herstellung einer Oberfläche eines Einkristallwafers als Epitaktisches Template, Epitaktisches Template und Vorrichtung

EP4320295 Art A1 14. Februar 2024

Anmelder: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4320295
Aktenzeichen: EP21742069
Anmeldetag: 1. Juli 2021
Veröffentlichung: 14. Februar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C30B33/02C30B29/16H01L21/02H01L21/302H01L21/324

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Max-Planck-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Die Max-Planck-Gesellschaft betreibt zahlreiche Institute für Grundlagenforschung in Natur-, Geistes- und Sozialwissenschaften.

2.166 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von