Verfahren zur Herstellung eines Spiegels einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage

EP4320467 Art A1 14. Februar 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4320467
Aktenzeichen: EP22716189
Anmeldetag: 17. März 2022
Veröffentlichung: 14. Februar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G02B5/08G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von