Verfahren, Vorrichtung und Computerprogramm zur Verarbeitung einer Oberfläche eines Objekts

EP4320481 Art A1 14. Februar 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4320481
Aktenzeichen: EP22736160
Anmeldetag: 13. Juni 2022
Veröffentlichung: 14. Februar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/72G03F1/74H01J37/305C23C16/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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