Vorrichtung und Verfahren zum Anpressen eines Oberen Poliertuchs gegen einen Oberen Polierteller einer Maschine zum Gleichzeitigen Polieren einer Vorderseite und einer Rückseite einer Halbleiterscheibe

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4321298

Aktenzeichen

EP22190170

Anmeldetag

12. August 2022

Veröffentlichung

14. Februar 2024

Rechtsraum

EP

IPC

B24B37/08B24B37/34

Abstract

Vorrichtung und Verfahren zum Anpressen eines oberen Poliertuchs gegen einen oberen Polierteller einer Maschine zum gleichzeitigen Polieren einer Vorderseite und einer Rückseite einer Halbleiterscheibe zwischen dem oberen Polierteller und einem unteren Polierteller: Die Vorrichtung umfasst zwei parallel liegende Linearschienen, die in geringem Abstand über dem unteren Polierteller parallel zu einem dazwischenliegenden Radius des unteren Poliertellers angeordnet sind; einen Grundkörper, auf dem die Linearschienen befestigt sind; zwei entlang der Linearschienen bewegbare, angetriebene Schlitten; von den Schlitten getragene Aktuatoren zum Anheben und Absenken einer Walze, die an den Aktuatoren befestigt und zwischen den Linearschienen angeordnet ist; und eine Steuerung zum synchronen Hin- und Herbewegen der Schlitten zwischen einem äußeren und einem inneren Stiftkranz der Maschine und zum synchronen Bewegen der Aktuatoren.

Anmelder

Firma

Siltronic AG

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete