Optische Komponenten für Geladene Teilchen und Ihre Herstellung

EP4322196 Art A3 25. Juni 2025

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4322196
Aktenzeichen: EP23190282
Anmeldetag: 8. August 2023
Veröffentlichung: 25. Juni 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/147H01J37/153H01J1/46H01J9/14H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI COMPANY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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