System zum Schutz von Sensoren in Elektronenbildgebungsanwendungen

EP4322199 Art A1 14. Februar 2024

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4322199
Aktenzeichen: EP22189488
Anmeldetag: 9. August 2022
Veröffentlichung: 14. Februar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/244H01J37/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI COMPANY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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