Federmechanismus zur Selbstverriegelung und Zentrierung Während der Beladung
EP4323755
Art A1
21. Februar 2024
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4323755
- Aktenzeichen
- EP22856527
- Anmeldetag
- 9. August 2022
- Veröffentlichung
- 21. Februar 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F16F15/067F16F15/02F16F1/12H01L21/67G03F7/20G01N21/88G01N21/95G01N21/956H01L21/66F16M11/12F16M11/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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