Einrichtung von Pflegebereichen zur Inspektion einer Probe
EP4323756
Art A1
21. Februar 2024
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4323756
- Aktenzeichen
- EP22838292
- Anmeldetag
- 5. Juli 2022
- Veröffentlichung
- 21. Februar 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/95G01N21/956G01N21/88G06T7/00G06T7/11H01L21/66G06V10/141G06V10/25G06V20/69
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank