Verfahren zur Borsäureanalyse und Prozesssteuerung von Metallisierungslösungen
EP4323762
Art A1
21. Februar 2024
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4323762
- Aktenzeichen
- EP22853849
- Anmeldetag
- 3. August 2022
- Veröffentlichung
- 21. Februar 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N31/16C25D21/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank