Kaltfeldemitterelektronenkanone mit Selbstreinigendem Extraktor mit Umgekehrtem Elektronenstrahlstrom
EP4324010
Art B1
25. Februar 2026
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4324010
- Aktenzeichen
- EP22838293
- Anmeldetag
- 5. Juli 2022
- Veröffentlichung
- 25. Februar 2026
- Erteilung
- 25. Februar 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/073H01J37/28// H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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