Verfahren zur Präparation eines Germaniumsubstrats und Germaniumsubstratstruktur für ein Epitaktisches Aufwachsen einer Germaniumschicht

EP4324021 Art A1 21. Februar 2024

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4324021
Aktenzeichen: EP22722203
Anmeldetag: 11. April 2022
Veröffentlichung: 21. Februar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/20H01L21/3063

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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