Verfahren und Vorrichtung zur Berührungslosen Inspektion eines Substrats

EP4325229 Art A1 21. Februar 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4325229
Aktenzeichen: EP22190849
Anmeldetag: 17. August 2022
Veröffentlichung: 21. Februar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01R31/312

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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