System und Verfahren zur Messung eines Halbleiterprofils auf Basis eines Abtastbedingungsmodells
EP4327081
Art A1
28. Februar 2024
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4327081
- Aktenzeichen
- EP22870650
- Anmeldetag
- 15. September 2022
- Veröffentlichung
- 28. Februar 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B11/24G01N21/956G01N23/201G03F7/00// G06F30/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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