Defekterkennung für Mehrchipmasken
EP4327082
Art B1
31. Dezember 2025
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4327082
- Aktenzeichen
- EP22877156
- Anmeldetag
- 22. September 2022
- Veröffentlichung
- 31. Dezember 2025
- Erteilung
- 31. Dezember 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/84G06T7/00G01N21/956G01N21/88G01N21/95G03F7/00G06F16/50G06F16/532G06F16/538G06T7/80
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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