Segmentierung oder Querschnitt von Strukturen mit Hohem Aspektverhältnis

EP4327274 Art A1 28. Februar 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4327274
Aktenzeichen: EP22719804
Anmeldetag: 23. März 2022
Veröffentlichung: 28. Februar 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G06T7/00G06T7/11G06T7/12G06T7/149G06T7/62

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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