Bandbreiteneinstellung zur Fernsteuerung eines Herstellungswerkzeugs
EP4327541
Art A1
28. Februar 2024
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4327541
- Aktenzeichen
- EP22877223
- Anmeldetag
- 28. September 2022
- Veröffentlichung
- 28. Februar 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H04L67/125H04N7/01G05B19/418H04N7/18H04N21/2343H04N21/4728H04N21/431
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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