Optisches Element zur Erzeugung von Breitbandstrahlung

EP4334766 Art A1 13. März 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4334766
Aktenzeichen: EP22722277
Anmeldetag: 12. April 2022
Veröffentlichung: 13. März 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G02B6/00G03F1/00G02F1/365G02B6/02C03B37/012G03F7/20B82Y20/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik

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