Temperaturmessung von Optischen Elementen in einem Optischen Gerät

EP4334781 Art A1 13. März 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4334781
Aktenzeichen: EP22715631
Anmeldetag: 29. März 2022
Veröffentlichung: 13. März 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01J5/00G02B7/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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