Interferometrisches Messverfahren und Interferometrisches Messsystem

EP4336138 Art A1 13. März 2024

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4336138
Aktenzeichen: EP23192364
Anmeldetag: 21. August 2023
Veröffentlichung: 13. März 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01B9/02G01B9/02056G01B9/02055G01B11/24G01M11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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