Unterdrückung von Laserglühmustern

EP4337943 Art A1 20. März 2024

Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4337943
Aktenzeichen
EP22884273
Anmeldetag
12. Oktober 2022
Veröffentlichung
20. März 2024
Rechtsraum
EP
IPC
G06T5/77G06T5/20G06T5/40G06T7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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