Verbesserte Ziele für Diffraktionsbasierte Überlagerungsfehlermetrologie
EP4338010
Art A1
20. März 2024
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4338010
- Aktenzeichen
- EP22899257
- Anmeldetag
- 6. Oktober 2022
- Veröffentlichung
- 20. März 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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