Systeme und Verfahren zur Einrichtung eines Physikbasierten Modells
EP4338088
Art A1
20. März 2024
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4338088
- Aktenzeichen
- EP22881604
- Anmeldetag
- 9. Oktober 2022
- Veröffentlichung
- 20. März 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G06F30/398G06F30/27G06F111/06G06F111/20G06F119/18G03F7/00G06N5/01G06N7/01G06N20/00// G06F111/10G06F119/22
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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