Bandpass-Energiefilterdetektor für Geladene Teilchen für Werkzeuge mit Geladenen Teilchen
EP4338189
Art A1
20. März 2024
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4338189
- Aktenzeichen
- EP22879225
- Anmeldetag
- 5. Oktober 2022
- Veröffentlichung
- 20. März 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/244H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank