Ionenfräsvorrichtung, Abschirmungsplatte und Verfahren zur Herstellung einer Probe durch eine Ionenfräsvorrichtung

EP4339993 Art A1 20. März 2024

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4339993
Aktenzeichen: EP23191520
Anmeldetag: 15. August 2023
Veröffentlichung: 20. März 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/09G01N1/32H01J37/20H01J37/305

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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