Konversionsröhrenanordnung, Substratverarbeitungsvorrichtung, Substratverarbeitungsverfahren und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements

EP4340007 Art A1 20. März 2024

Anmelder: Kokusai Electric Corp. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4340007
Aktenzeichen: EP23186121
Anmeldetag: 18. Juli 2023
Veröffentlichung: 20. März 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67E04D13/08F16L9/00F16L25/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kokusai Electric Corp.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Hochbau & Gebäudetechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik

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