Monolithischer Optischer Retarder
EP4341731
Art A1
27. März 2024
Anmelder: KLA Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4341731
- Aktenzeichen
- EP22884385
- Anmeldetag
- 19. Oktober 2022
- Veröffentlichung
- 27. März 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B5/30G02B27/14G02B27/10G01N21/21G01N21/25G01N21/41G01N21/47G01N21/55
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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