Verfahren zur Herstellung eines Mikroelektronischen Bauteils mit einer Schicht auf Basis eines Iii-V-Materials

EP4341984 Art A1 27. März 2024

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, Centre National de la Recherche Scientifique, Université Grenoble Alpes, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4341984
Aktenzeichen
EP22730716
Anmeldetag
19. Mai 2022
Veröffentlichung
27. März 2024
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
Centre National de la Recherche Scientifique
Université Grenoble Alpes
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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🇫🇷 Université Grenoble Alpes

Französische Universität mit Sitz in Grenoble, entstanden aus Zusammenschluss mehrerer Hochschulen, mit Lehre und Forschung in Natur-, Ingenieur-, Geistes- und Sozialwissenschaften.

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