Systeme und Verfahren zur Übertragung einer Probe in und aus einer Vakuumkammer eines Transmissionselektronenmikroskops

EP4345862 Art B1 3. September 2025

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4345862
Aktenzeichen: EP23199765
Anmeldetag: 26. September 2023
Veröffentlichung: 3. September 2025
Erteilung: 3. September 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/20H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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