System und Verfahren zur Massendurchflussmessung und Steuerung von Prozessgasen in einem Trägerstrom unter Verwendung eines oder mehrerer Quarzkristallmikrobalancesensoren
EP4347918
Art A1
10. April 2024
Anmelder: INFICON, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4347918
- Aktenzeichen
- EP22816820
- Anmeldetag
- 2. Juni 2022
- Veröffentlichung
- 10. April 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/448C23C16/455C23C16/52C30B25/14C30B25/16G01N29/02G01N29/036G01N29/32G01N29/44G01B7/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- INFICON, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇩🇪
Inficon
Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.
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