Verfahren zur Detektion von Radikalen mittels Massenspektrometrie

EP4348235 Art B1 17. September 2025

Anmelder: INFICON, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4348235
Aktenzeichen
EP22816705
Anmeldetag
31. Mai 2022
Veröffentlichung
17. September 2025
Erteilung
17. September 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/304H01J37/305H01J37/32G01N33/00// H01J49/00H01J49/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
INFICON, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇩🇪 Inficon

Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.

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