Zustandsübergangstemperatur von Resiststrukturen

EP4350441 Art A1 10. April 2024

Anmelder: Imec VZW, Katholieke Universiteit Leuven 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4350441
Aktenzeichen: EP22200163
Anmeldetag: 6. Oktober 2022
Veröffentlichung: 10. April 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F7/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Imec VZW
Katholieke Universiteit Leuven
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 Katholieke Universiteit Leuven

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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