Polymere und Copolymere auf Phosphoniumbasis als Additive für Aufschlämmungen zur Chemisch-Mechanischen Planarisierung

EP4352120 Art A1 17. April 2024

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4352120
Aktenzeichen: EP22821225
Anmeldetag: 3. Juni 2022
Veröffentlichung: 17. April 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C08F30/02C08G79/06C09G1/02C09K3/14H01L21/304H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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