Verfahren und Vorrichtung zur Störgrössenkompensation bei der Positionierung eines Probenträgers

EP4352496 Art B1 14. Januar 2026

Anmelder: TECHNISCHE UNIVERSITÄT WIEN 🇦🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4352496
Aktenzeichen: EP22729408
Anmeldetag: 7. Juni 2022
Veröffentlichung: 14. Januar 2026
Erteilung: 14. Januar 2026
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/95G01Q20/00G02B21/26H01J37/20G01B11/02G01B5/00H01L21/66G01Q30/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TECHNISCHE UNIVERSITÄT WIEN
Land: 🇦🇹 Österreich

🇦🇹 Technische Universität Wien

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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