Hochauflösende Abbildung Mikroelektronischer Vorrichtungen

EP4352524 Art A1 17. April 2024

Anmelder: Battelle Memorial Institute 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4352524
Aktenzeichen: EP22738783
Anmeldetag: 2. Juni 2022
Veröffentlichung: 17. April 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01R31/311G01N21/63G01N21/84G01N21/88G01N21/95G01R31/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Battelle Memorial Institute
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Battelle Memorial Institute

Gemeinnützige US-amerikanische Forschungsorganisation mit Sitz in Columbus, Ohio, die angewandte Forschung und Entwicklung in Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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