Vorrichtung, Verfahren und Computerprogrammprodukt für Fehlerbehebung Erkennung in Werkstücken
EP4354162
Art A3
17. Juli 2024
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4354162
- Aktenzeichen
- EP24160048
- Anmeldetag
- 4. Dezember 2015
- Veröffentlichung
- 17. Juli 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/88G01N21/95G01R31/01G01R31/26G01R31/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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