Verringerung des Stromverbrauchs für ein System mit Geladenen Teilchen

EP4354484 Art A1 17. April 2024

Anmelder: FEI COMPANY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4354484
Aktenzeichen: EP23202626
Anmeldetag: 10. Oktober 2023
Veröffentlichung: 17. April 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/10H01J37/141H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI COMPANY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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