Vorrichtung und Verfahren zur Übertragung von Partikeln

EP4357297 Art A1 24. April 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4357297
Aktenzeichen: EP22202853
Anmeldetag: 20. Oktober 2022
Veröffentlichung: 24. April 2024
Rechtsraum: EP
IPC: B82Y10/00B82Y40/00C23C14/00G21K1/00H01J37/317

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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