Verfahren zur Bestimmung einer Absoluten Position eines Objekts, Interferometersystem, Projektionssystem und Lithografische Vorrichtung

EP4357728 Art A1 24. April 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4357728
Aktenzeichen: EP22202878
Anmeldetag: 21. Oktober 2022
Veröffentlichung: 24. April 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G01B9/02001G01B9/02055

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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