Inline-Maschinensichtsystem zur Teileverfolgung eines Substratverarbeitungssystems

EP4359775 Art A1 1. Mai 2024

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4359775
Aktenzeichen: EP22829039
Anmeldetag: 15. Juni 2022
Veröffentlichung: 1. Mai 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67H01L21/673

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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