Verfahren zur Einstellung eines Optischen Systems mit Geladenen Teilchen und Vorrichtung mit Geladenem Teilchenstrahl
EP4362056
Art A1
1. Mai 2024
Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4362056
- Aktenzeichen
- EP23196656
- Anmeldetag
- 11. September 2023
- Veröffentlichung
- 1. Mai 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/153
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Jeol Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
JEOL
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.
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