Substratverarbeitungsvorrichtung, Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung und Verwendung der Substratverarbeitungsvorrichtung

EP4365328 Art A1 8. Mai 2024

Anmelder: Kokusai Electric Corp. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4365328
Aktenzeichen: EP23201872
Anmeldetag: 5. Oktober 2023
Veröffentlichung: 8. Mai 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/34C23C16/44C23C16/455H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kokusai Electric Corp.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kokusai Electric

Kokusai Electric ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Schwerpunkt Wärmebehandlungssysteme. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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