Optische Komponente auf Basis einer Photonischen Hohlkernkristallfaser zur Breitbandstrahlungserzeugung

EP4365653 Art A3 24. Juli 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4365653
Aktenzeichen: EP24166014
Anmeldetag: 19. Oktober 2020
Veröffentlichung: 24. Juli 2024
Rechtsraum: EP
IPC: G02B6/02// G02B6/255G02B6/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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